La 909 Project Very Large Scale Integrated Circuit Factory estas grava konstruprojekto de la elektronika industrio de mia lando dum la Naŭa Kvinjara Plano por produkti blatojn kun linilarĝo de 0,18 mikronoj kaj diametro de 200 mm.
La fabrikada teknologio de tre grandskalaj integraj cirkvitoj ne nur implikas altprecizajn teknologiojn kiel mikromaŝinadon, sed ankaŭ metas altajn postulojn pri gaspureco.
La pogranda gasprovizo por Projekto 909 estas provizita de komuna entrepreno inter Praxair Utility Gas Co., Ltd. de Usono kaj koncernaj partioj en Ŝanhajo por kune establi gasproduktadfabrikon.La gasproduktadfabriko estas najbara al la 909-projektfabriko. konstruaĵo, kovranta areon de proksimume 15,000 kvadrataj metroj. La pureco kaj eligo postuloj de diversaj gasoj
Altpura nitrogeno (PN2), nitrogeno (N2), kaj altpura oksigeno (PO2) estas produktitaj per aera apartigo. Altpura hidrogeno (PH2) estas produktita per elektrolizo. Argono (Ar) kaj heliumo (He) estas aĉetitaj subkontraktitaj. La kvazaŭ-gaso estas purigita kaj filtrita por uzo en Projekto 909. Speciala gaso estas liverita en boteloj, kaj la gasbotelkabineto situas en la helplaborejo de la integra cirkvitoproduktadfabriko.
Aliaj gasoj ankaŭ inkluzivas puran sekan kunpremitan aeron CDA-sistemon, kun uzado-volumo de 4185m3/h, prema rosopunkto de -70°C, kaj partiklograndeco de ne pli ol 0.01um en la gaso ĉe la punkto de uzo. Sistemo de spira kunpremita aero (BA), uzado-volumo 90m3/h, prema rosopunkto 2℃, partiklograndeco en la gaso ĉe la uzado-punkto ne estas pli granda ol 0.3um, proceza vakuo (PV) sistemo, uzado-volumo 582m3/h, malplena grado ĉe la punkto de uzo -79993Pa . Purigado de vakuo (HV) sistemo, uzado-volumo 1440m3/h, malplena grado ĉe uzpunkto -59995 Pa. La aero-kompresorĉambro kaj vakupumpila ĉambro estas ambaŭ situantaj en la 909-projekta fabrikejo.
Elekto de tubaj materialoj kaj akcesoraĵoj
La gaso uzita en VLSI-produktado havas ekstreme altajn purecopostulojn.Altpuraj gasduktojestas kutime uzataj en puraj produktadmedioj, kaj ilia pureca kontrolo devus esti kongrua kun aŭ pli alta ol la pureca nivelo de la uzata spaco! Krome, altpuraj gasduktoj ofte estas uzitaj en puraj produktadmedioj. Pura hidrogeno (PH2), altpura oksigeno (PO2) kaj iuj specialaj gasoj estas brulemaj, eksplodemaj, brulsubtenaj aŭ toksaj gasoj. Se la gasduktosistemo estas nedece desegnita aŭ la materialoj estas nedece elektitaj, ne nur la pureco de la gaso uzata ĉe la gaspunkto malpliiĝos, sed ĝi ankaŭ malsukcesos. Ĝi plenumas la procezpostulojn, sed ĝi estas nesekura uzi kaj kaŭzos poluon al la pura fabriko, influante la sekurecon kaj purecon de la pura fabriko.
La garantio de la kvalito de altpura gaso ĉe la punkto de uzo ne nur dependas de la precizeco de gasproduktado, puriga ekipaĵo kaj filtriloj, sed ankaŭ estas tuŝita en granda mezuro de multaj faktoroj en la duktosistemo. Se ni fidas je gasproduktadekipaĵo, purigadekipaĵo kaj filtriloj Estas simple malĝuste trudi senlime pli altajn precizecajn postulojn por kompensi nekonvenan gasan tubaran sistemon-dezajnon aŭ materialan elekton.
Dum la dezajnprocezo de la projekto 909, ni sekvis la "Kodon por Dezajno de Puraj Plantoj" GBJ73-84 (la nuna normo estas (GB50073-2001)), "Kodo por Dezajno de Kunpremitaj Aeraj Stacioj" GBJ29-90, "Kodo". por Dezajno de Oksigenaj Stacioj" GB50030-91 , "Kodo por Dezajno de Hidrogeno kaj Oksigenaj Stacioj" GB50177-93, kaj rilataj teknikaj mezuroj por la elekto de duktomaterialoj kaj akcesoraĵoj. "Kodo por Dezajno de Puraj Plantoj" kondiĉas la elekton de duktomaterialoj kaj valvoj jene:
(1) Se la gasa pureco estas pli granda ol aŭ egala al 99,999% kaj la rosopunkto estas pli malalta ol -76 °C, 00Cr17Ni12Mo2Ti malalt-karbona neoksidebla ŝtalo pipo (316L) kun elektropolurita interna muro aŭ OCr18Ni9 neoksidebla ŝtalo pipo (304) kun elektropolurita interna muro devas esti uzata. La valvo devus esti diafragmvalvo aŭ balgovalvo.
(2) Se la gasa pureco estas pli granda ol aŭ egala al 99,99% kaj la rosopunkto estas pli malalta ol -60 °C, OCr18Ni9 neoksidebla ŝtalo tubo (304) kun elektropolurita interna muro estu uzata. Krom balgovalvoj, kiuj devus esti uzataj por bruligeblaj gasduktoj, pilkaj valvoj estu uzataj por aliaj gasduktoj.
(3) Se la rosopunkto de seka kunpremita aero estas pli malalta ol -70 °C, OCr18Ni9 neoksidebla ŝtalo tubo (304) kun polurita interna muro devus esti uzata. Se la rosopunkto estas pli malalta ol -40 ℃, OCr18Ni9 neoksidebla ŝtalo pipo (304) aŭ varmega galvanizita senjunta ŝtalo tubo devus esti uzata. La valvo devus esti balgovalvo aŭ pilkvalvo.
(4) La valva materialo devas esti kongrua kun la konekta tubo-materialo.
Laŭ la postuloj de specifoj kaj rilataj teknikaj mezuroj, ni ĉefe konsideras la jenajn aspektojn kiam ni elektas duktomaterialojn:
(1) La aerpermeablo de tubaj materialoj devus esti malgranda. Tuboj el malsamaj materialoj havas malsaman aerpermeablon. Se pipoj kun pli granda aerpermeablo estas elektitaj, poluo ne povas esti forigita. Neoksideblaj ŝtalaj tuboj kaj kupraj tuboj estas pli bonaj por malhelpi la penetron kaj korodon de oksigeno en la atmosfero. Tamen, ĉar rustorezistaŝtalaj pipoj estas malpli aktivaj ol kupraj pipoj, kupraj pipoj estas pli aktivaj en permesado de al humideco en la atmosfero penetri en siajn internajn surfacojn. Sekve, kiam elektas tubojn por altpuraj gasduktoj, neoksideblaj ŝtalaj tuboj estu la unua elekto.
(2) La interna surfaco de la tubmaterialo estas adsorbita kaj havas malgrandan efikon al analizado de la gaso. Post kiam la neoksidebla ŝtalo tubo estas prilaborita, certa kvanto da gaso estos retenita en sia metala krado. Kiam altpura gaso trapasas, ĉi tiu parto de la gaso eniros la aerfluon kaj kaŭzos poluon. Samtempe, pro adsorbado kaj analizo, la metalo sur la interna surfaco de la pipo ankaŭ produktos certan kvanton da pulvoro, kaŭzante poluon al la altpura gaso. Por tubaj sistemoj kun pureco super 99.999% aŭ ppb-nivelo, 00Cr17Ni12Mo2Ti malaltkarbona neoksidebla ŝtalo pipo (316L) devus esti uzata.
(3) La eluziĝorezisto de neoksideblaj ŝtalaj tuboj estas pli bona ol tiu de kupraj tuboj, kaj la metala polvo generita de aerflua erozio estas relative malpli. Produktaj laborejoj kun pli altaj postuloj por pureco povas uzi 00Cr17Ni12Mo2Ti malaltkarbonajn neoksideblajn ŝtalojn (316L) aŭ OCr18Ni9 neoksideblajn ŝtalojn (304), kuprajn pipojn ne devas esti uzataj.
(4) Por tubaj sistemoj kun gaspureco super 99.999% aŭ ppb aŭ ppt-niveloj, aŭ en puraj ĉambroj kun aerpurecniveloj de N1-N6 specifita en la "Kodo de Pura Fabrika Dezajno", ultra-puraj pipoj aŭEP ultra-puraj pipojdevus esti uzata. Pura "pura tubo kun ultra-glata interna surfaco".
(5) Iuj el la specialaj gasduktoj-sistemoj uzataj en la produktada procezo estas tre korodaj gasoj. La pipoj en ĉi tiuj duktosistemoj devas uzi korodrezistajn rustorezistajn ŝtalajn pipojn kiel pipojn. Alie, la tuboj estos damaĝitaj pro korodo. Se korodpunktoj okazas sur la surfaco, ordinaraj senjuntaj ŝtalaj pipoj aŭ galvanizitaj velditaj ŝtalaj pipoj ne devas esti uzataj.
(6) Principe, ĉiuj gasduktokonektoj devus esti velditaj. Ĉar veldado de galvanizitaj ŝtalaj tuboj detruos la galvanizitan tavolon, galvanizitaj ŝtalaj tuboj ne estas uzataj por tuboj en puraj ĉambroj.
Konsiderante la suprajn faktorojn, la gasduktoj kaj valvoj elektitaj en la projekto &7& estas jenaj:
La sistemoj de altpuraj nitrogenaj (PN2) tuboj estas faritaj el 00Cr17Ni12Mo2Ti malaltkarbonaj neoksideblaj ŝtalaj pipoj (316L) kun elektropoluritaj internaj muroj, kaj la valvoj estas faritaj el neoksideblaj ŝtalaj balgovalvoj el la sama materialo.
La sistemoj de nitrogeno (N2) tuboj estas faritaj el 00Cr17Ni12Mo2Ti malaltkarbonaj neoksideblaj ŝtalaj pipoj (316L) kun elektropoluritaj internaj muroj, kaj la valvoj estas faritaj el neoksideblaj ŝtalaj balgovalvoj el la sama materialo.
La sistemoj de altpuraj hidrogenaj (PH2) tuboj estas faritaj el 00Cr17Ni12Mo2Ti malaltkarbonaj neoksideblaj ŝtalaj pipoj (316L) kun elektropoluritaj internaj muroj, kaj la valvoj estas faritaj el neoksideblaj ŝtalaj balgovalvoj el la sama materialo.
La sistemoj de altpuraj oksigenaj (PO2) tuboj estas faritaj el 00Cr17Ni12Mo2Ti malaltkarbonaj neoksideblaj ŝtalaj pipoj (316L) kun elektropoluritaj internaj muroj, kaj la valvoj estas faritaj el neoksideblaj ŝtalaj balgovalvoj el la sama materialo.
Argonaj (Ar) sistemoj-tuboj estas faritaj el 00Cr17Ni12Mo2Ti malaltkarbonaj neoksideblaj ŝtalaj pipoj (316L) kun elektropoluritaj internaj muroj, kaj neoksideblaj ŝtalaj balgovalvoj de la sama materialo estas uzataj.
La heliumaj (He) sistemo-tuboj estas faritaj el 00Cr17Ni12Mo2Ti malaltkarbonaj neoksideblaj ŝtalaj pipoj (316L) kun elektropoluritaj internaj muroj, kaj la valvoj estas faritaj el neoksideblaj ŝtalaj balgovalvoj el la sama materialo.
La sistemoj de puraj sekaj kunpremitaj aero (CDA) tuboj estas faritaj el OCr18Ni9 neoksidebla ŝtalo tuboj (304) kun poluritaj internaj muroj, kaj la valvoj estas faritaj el neoksideblaj ŝtalaj balgovalvoj el la sama materialo.
La sistemoj de spiraj kunpremitaj aero (BA) tuboj estas faritaj el OCr18Ni9 neoksideblaj ŝtalaj pipoj (304) kun poluritaj internaj muroj, kaj la valvoj estas faritaj el neoksideblaj pilkaj valvoj de la sama materialo.
La procezaj vakuaj (PV) sistemoj tuboj estas faritaj el UPVC-tuboj, kaj la valvoj estas faritaj el vakuaj papiliaj valvoj faritaj el la sama materialo.
La purigaj vakuo-sistemoj (HV) tuboj estas faritaj el UPVC-tuboj, kaj la valvoj estas faritaj el vakuaj papiliaj valvoj faritaj el la sama materialo.
La tuboj de la speciala gasa sistemo estas ĉiuj faritaj el 00Cr17Ni12Mo2Ti malaltkarbonaj neoksideblaj ŝtalaj pipoj (316L) kun elektropoluritaj internaj muroj, kaj la valvoj estas faritaj el neoksideblaj ŝtalaj balgovalvoj el la sama materialo.
3 Konstruado kaj instalado de duktoj
3.1 Sekcio 8.3 de la "Kodo pri Pura Fabrika Konstruaĵo" kondiĉas la jenajn dispoziciojn por duktokonektoj:
(1) Tubaj konektoj devas esti velditaj, sed varme galvanizitaj ŝtalaj tuboj devas esti surfadenigitaj. La sigela materialo de fadenaj ligoj devas plenumi la postulojn de Artikolo 8.3.3 de ĉi tiu specifo.
(2) Neoksideblaj ŝtalaj tuboj devas esti konektitaj per argonarka veldo kaj pugveldado aŭ ingoveldado, sed altpuraj gasduktoj estu konektitaj per pugveldado sen markoj sur la interna muro.
(3) La konekto inter duktoj kaj ekipaĵo devas plenumi la konektopostulojn de la ekipaĵo.Kiam oni uzas hosajn konektojn, oni devas uzi metalajn tubojn.
(4) La konekto inter duktoj kaj valvoj devas plenumi la sekvajn regularojn
① La sigela materialo konektanta altpurajn gasduktojn kaj valvojn devas uzi metalajn gasojn aŭ duoblajn ferrulojn laŭ la postuloj de la produktada procezo kaj gasaj trajtoj.
②La sigela materialo ĉe la fadena aŭ flanĝa konekto devas esti politetrafluoretileno.
3.2 Laŭ la postuloj de specifoj kaj koncernaj teknikaj mezuroj, la konekto de altpuraj gasduktoj devus esti veldita kiel eble plej multe. Rekta pugveldado devus esti evitita dum veldado. Pipaj manikoj aŭ finitaj juntoj devus esti uzataj. La tubmanikoj devas esti faritaj el la sama materialo kaj interna surfaca glateco kiel la tuboj. nivelo, dum veldado, por malhelpi oksidadon de la velda parto, pura protekta gaso devas esti enkondukita en la veldan tubon. Por neoksideblaj ŝtalaj tuboj, argonarka veldado devas esti uzata, kaj argona gaso de la sama pureco devas esti enkondukita en la tubon. Fadenigita konekto aŭ fadenigita konekto devas esti uzata. Konektante flanĝojn, ferruloj devas esti uzataj por surfadenigitaj ligoj. Krom oksigenaj tuboj kaj hidrogenaj tuboj, kiuj devus uzi metalajn gasketojn, aliaj tuboj devas uzi politetrafluoretilenajn gasketojn. Apliki malgrandan kvanton da silikona kaŭĉuko al la garkoj ankaŭ estos efika. Plifortigi sigelan efikon. Similaj mezuroj devus esti prenitaj kiam flanĝaj ligoj estas faritaj.
Antaŭ ol komenciĝos instala laboro, detala vida inspektado de tuboj,garniĝoj, valvoj ktp devas esti efektivigitaj. La interna muro de ordinaraj neoksideblaj tuboj devas esti piklita antaŭ instalado. La tuboj, ekipaĵoj, valvoj ktp de oksigenaj duktoj devas esti strikte malpermesitaj de oleo, kaj devas esti strikte grasigitaj laŭ koncernaj postuloj antaŭ instalado.
Antaŭ ol la sistemo estas instalita kaj metita en uzo, la dissenda kaj distribua duktosistemo devas esti tute elpurigita per la liverita altpura gaso. Ĉi tio ne nur forblovas la polvajn partiklojn, kiuj hazarde falis en la sistemon dum la instala procezo, sed ankaŭ ludas sekigan rolon en la duktosistemo, forigante parton de la humideca gaso sorbita de la tubmuro kaj eĉ la tubmaterialo.
4. Dukto premo testo kaj akcepto
(1) Post kiam la sistemo estas instalita, 100% radiografia inspektado de la tuboj transportantaj tre toksajn fluidojn en specialaj gasduktoj devas esti farita, kaj ilia kvalito ne estu pli malalta ol Nivelo II. Aliaj tuboj devas esti submetataj al specimena radiografia inspektado, kaj la specimena inspekta proporcio ne estu malpli ol 5%, la kvalito ne estu pli malalta ol grado III.
(2) Post trapaso de la nedetrua inspektado, premo-testo devas esti farita. Por certigi la sekecon kaj purecon de la tubsistemo, oni ne devas fari hidraŭlikan premon, sed oni devas uzi pneŭmatikan premon. La aerpremtesto devas esti farita per nitrogeno aŭ kunpremita aero, kiu kongruas kun la pureca nivelo de la pura ĉambro. La testa premo de la dukto devus esti 1.15 fojojn la projekta premo, kaj la testa premo de la vakua dukto estu 0.2MPa. Dum la provo, la premo devas esti iom post iom kaj malrapide pliigita. Kiam la premo altiĝas al 50% de la testa premo, se neniu anomalio aŭ elfluo estas trovita, daŭre plialtigu la premon paŝon post paŝo je 10% de la testa premo, kaj stabiligu la premon dum 3 minutoj ĉe ĉiu nivelo ĝis la testa premo. . Stabiligu la premon dum 10 minutoj, tiam reduktu la premon al la desegna premo. La premo-halttempo devas esti determinita laŭ la bezonoj de liko-detekto. La ŝaŭma agento estas kvalifikita se ne estas elfluo.
(3) Post kiam la vakua sistemo trapasas la preman teston, ĝi ankaŭ devus fari 24-horan vakuan gradon laŭ la dezajnaj dokumentoj, kaj la prema indico ne devus esti pli granda ol 5%.
(4) Testo pri liko. Por ppb kaj ppt-gradaj duktosistemoj, laŭ rilataj specifoj, neniu elfluo devas esti konsiderata kiel kvalifikita, sed la elflua kvanto-testo estas uzata dum dezajno, tio estas, la elflua kvanto-testo estas farita post la aera streĉa testo. La premo estas la laborpremo, kaj la premo estas haltita dum 24 horoj. La averaĝa hora elfluo estas malpli ol aŭ egala al 50ppm kiel kvalifikite. La kalkulo de la elfluo estas kiel sekvas:
A=(1-P2T1/P1T2)*100/T
En la formulo:
A-hora elfluado (%)
P1-absoluta premo komence de la testo (Pa)
P2-absoluta premo ĉe la fino de la testo (Pa)
T1-absoluta temperaturo komence de la testo (K)
T2-absoluta temperaturo ĉe la fino de la testo (K)
Afiŝtempo: Dec-12-2023