As duonkonduktaĵokaj mikroelektronikaj teknologioj evoluas al pli alta rendimento kaj pli alta integriĝo, pli altaj postuloj estas metitaj sur la purecon de elektronikaj specialaj gasoj. Altpureca gastubara teknologio estas grava parto de la altpureca gasproviza sistemo. Ĝi estas la ŝlosila teknologio por liveri altpurecajn gasojn, kiuj plenumas la postulojn al la gasuzpunktoj, samtempe konservante kvalifikitan kvaliton.
Altpureca tubara teknologio inkluzivas la ĝustan dezajnon de la sistemo, la elekton de tubkonektiloj kaj helpmaterialoj, konstruadon kaj instaladon kaj testadon.
01Ĝenerala koncepto de gastransporta tubaro
Ĉiuj altpurecaj kaj altpurecaj gasoj devas esti transportataj al la fina gaspunkto per duktoj. Por plenumi la postulojn pri proceza kvalito por gaso, kiam la gaseksportindekso estas certa, estas pli necese atenti la materialan elekton kaj konstrukvaliton de la tubaro. Aldone al la precizeco de la gasprodukta aŭ puriga ekipaĵo, ĝi estas plejparte influata de multaj faktoroj de la duktosistemo. Tial, la elekto de tuboj devas sekvi la koncernajn principojn de la puriga industrio kaj marki la materialon de la tuboj en la desegnaĵoj.
02 La signifo de altpurecaj duktoj en gastransportado
La graveco de altpurecaj duktoj en altpureca gastransportado Dum la fandado de rustorezista ŝtalo, ĉiu tuno povas absorbi ĉirkaŭ 200 gramojn da gaso. Post la prilaborado de la rustorezista ŝtalo, ne nur diversaj poluaĵoj algluiĝas al ĝia surfaco, sed ankaŭ certa kvanto da gaso absorbiĝas en ĝia metala krado. Kiam aerfluo pasas tra la dukto, la parto de la gaso absorbita de la metalo reeniros la aerfluon kaj poluos la puran gason.
Kiam la aerfluo en la tubo estas malkontinua, la tubo formas preman adsorbon sur la trairanta gaso. Kiam la aerfluo ĉesas pasi, la gaso adsorbita de la tubo formas preman reduktan analizon, kaj la analizita gaso ankaŭ eniras la puran gason en la tubon kiel malpuraĵo.
Samtempe, la adsorba kaj analiza ciklo kaŭzos, ke la metalo sur la interna surfaco de la tubo produktas certan kvanton da pulvoro. Ĉi tiu metalpolva partiklo ankaŭ poluas la puran gason en la tubo. Ĉi tiu karakterizaĵo de la tubo estas tre grava. Por certigi la purecon de la transportata gaso, necesas ne nur, ke la interna surfaco de la tubo havu ekstreme altan glatecon, sed ankaŭ ke ĝi havu altan eluziĝreziston.
Kiam la gaso havas fortajn korodajn ecojn, oni devas uzi korodorezistajn rustorezistajn ŝtalajn tubojn por la tubaro. Alie, korodaj makuloj aperos sur la interna surfaco de la tubo pro korodo. En severaj kazoj, grandaj metalpecoj senŝeliĝos aŭ eĉ truiĝos, tiel poluante la puran gason transportatan.
03 Tubmaterialo
La materiala elekto de la tubo devas esti elektita laŭ la bezonoj de uzo. La kvalito de la tubo ĝenerale mezuriĝas laŭ la malglateco de la interna surfaco de la tubo. Ju pli malalta la malglateco, des malpli probable ĝi portas partiklojn. Ĝenerale dividita en tri tipojn:
Unu estasEP-grado 316L tubo, kiu estis elektrolize polurita (Elektro-Polurado). Ĝi estas korodorezista kaj havas malaltan surfacan malglatecon. Rmax (maksimuma pinto-valo-alteco) estas ĉirkaŭ 0.3μm aŭ malpli. Ĝi havas la plej altan platecon kaj ne facile formas mikro-kirlofluojn. Forigu poluitajn partiklojn. La reakcia gaso uzata en la procezo devus esti kondukita per tuboj je ĉi tiu nivelo.
Unu estasBA grado 316Ltubo, kiu estis traktita de Bright Anneal kaj ofte estas uzata por gasoj, kiuj kontaktas la peceton sed ne partoprenas en la proceza reakcio, kiel ekzemple GN2 kaj CDA. Unu estas AP-tubo (Annealing & Picking), kiu ne estas speciale traktita kaj ĝenerale estas uzata por duoblaj aroj de eksteraj tuboj, kiuj ne estas uzataj kiel gasprovizaj tuboj.
04 Duktokonstruado
La prilaborado de la tubbuŝo estas unu el la ŝlosilaj punktoj de ĉi tiu konstruteknologio. La duktotranĉado kaj prefabrikado estas farataj en pura medio, kaj samtempe oni certigas, ke ne estas damaĝaj markoj aŭ difektoj sur la surfaco de la dukto antaŭ tranĉado. Preparoj por nitrogena flulavado en la dukto devas esti faritaj antaŭ ol malfermi la dukton. Principe, veldado estas uzata por konekti la altpurecajn kaj altpurecajn gasajn transportajn kaj distribuajn duktojn kun granda fluo, sed rekta veldado ne estas permesita. Tukaj juntoj devas esti uzataj, kaj la uzata tubmaterialo devas havi neniun ŝanĝon en strukturo dum veldado. Se la materialo kun tro alta karbona enhavo estas veldita, la aerpermebleco de la velda parto kaŭzos, ke la gaso interne kaj ekstere de la tubo penetru unu la alian, detruante la purecon, sekecon kaj purecon de la transporta gaso, kio kondukos al gravaj konsekvencoj kaj influos la produktokvaliton.
Resumante, por altpurecaj gasaj kaj specialaj gastransportaj duktoj, oni devas uzi speciale traktitan altpurecan rustorezistan ŝtalan tubon, kio igas la altpurecan duktosistemon (inkluzive de duktoj, tubkonektiloj, valvoj, VMB, VMP) okupi esencan mision en altpureca gasdistribuado.
Afiŝtempo: 26-a de novembro 2024