As duonkonduktaĵokaj mikroelektronikaj teknologioj evoluas al pli alta rendimento kaj pli alta integriĝo, pli altaj postuloj estas metitaj sur la pureco de elektronikaj specialaj gasoj. Altpura gasa tuba teknologio estas grava parto de la altpura gasa provizsistemo. Ĝi estas la ŝlosila teknologio por liverado de altpuraj gasoj, kiuj plenumas la postulojn al la gas-uzaj punktoj dum daŭre konservante kvalifikitan kvaliton.
Altpura fajba teknologio inkluzivas la ĝustan dezajnon de la sistemo, la elekton de tuboj kaj helpaj materialoj, konstruadon kaj instaladon kaj testadon.
01Ĝenerala koncepto de gas-transsendo-tubo
Ĉiuj altpuraj kaj altpuraj gasoj devas esti transportitaj al la fina gaspunkto per duktoj. Por plenumi la procezkvalitajn postulojn por gaso, kiam la gas-eksporta indico estas certa, pli necesas atenti la materialan elekton kaj konstrukvaliton de la tubsistemo. Krom la precizeco de la gasproduktado aŭ puriga ekipaĵo, ĝi estas plejparte tuŝita de multaj faktoroj de la duktosistemo. Sekve, la elekto de pipoj devas observi la koncernajn purigan industriajn principojn kaj marki la materialon de la pipoj en la desegnaĵoj.
02La signifo de altpuraj duktoj en gasa transportado
La signifo de altpuraj duktoj en altpura gasa transportado Dum la fandprocezo de neoksidebla ŝtalo, ĉiu tuno povas sorbi ĉirkaŭ 200g da gaso. Post kiam la neoksidebla ŝtalo estas prilaborita, ne nur diversaj malpurigaĵoj estas fiksitaj sur ĝia surfaco, sed ankaŭ certa kvanto da gaso estas sorbita en ĝia metala krado. Kiam estas aerfluo pasanta tra la dukto, la parto de la gaso sorbita de la metalo reeniros la aerfluon kaj poluos la puran gason.
Kiam la aerfluo en la pipo estas malkontinua, la pipo formas premadsorbadon sur la gaso trapasanta. Kiam la aerfluo ĉesas pasi, la gaso adsorbita de la tubo formas preman reduktan analizon, kaj la analizita gaso ankaŭ eniras la puran gason en la tubon kiel malpuraĵo.
Samtempe, la adsorba kaj analiza ciklo igos la metalon sur la interna surfaco de la pipo produkti certan kvanton da pulvoro. Ĉi tiu metalpolva partiklo ankaŭ poluas la puran gason en la tubo. Ĉi tiu karakterizaĵo de la pipo estas tre grava. Por certigi la purecon de la transportita gaso, ne nur necesas, ke la interna surfaco de la tubo havas ekstreme altan glatecon, sed ankaŭ ke ĝi havu altan eluziĝon.
Kiam la gaso havas fortajn korodajn trajtojn, korodrezistaj neoksideblaj ŝtalaj tuboj devas esti uzataj por fajfado. Alie, korodaj makuloj aperos sur la interna surfaco de la tubo pro korodo. En severaj kazoj, grandaj metalaj pecoj senŝeliĝos aŭ eĉ truos, tiel poluante la puran gason transportitan.
03 Pipa materialo
La materiala elekto de la pipo devas esti elektita laŭ la bezonoj de uzo. La kvalito de la pipo estas ĝenerale mezurita laŭ la malglateco de la interna surfaco de la pipo. Ju pli malalta estas la krudeco, des malpli verŝajne ĝi portas partiklojn. Ĝenerale dividite en tri tipojn:
Unu estasEP grado 316L pipo, kiu estis elektrolite polurita (Electro-Polish). Ĝi estas korodrezista kaj havas malaltan surfacan malglatecon. Rmax (maksimuma pinto al valalteco) estas proksimume 0.3μm aŭ malpli. Ĝi havas la plej altan platecon kaj ne estas facile formi mikro-kirbulfluojn. Forigi poluitajn partiklojn. La reakcia gaso uzita en la procezo devus esti tubigita ĉe ĉi tiu nivelo.
Unu estas aBA-grado 316Lpipo, kiu estis traktita fare de Bright Anneal kaj ofte estas uzita por gasoj kiuj estas en kontakto kun la blato sed ne partoprenas la procezreagon, kiel ekzemple GN2 kaj CDA. Unu estas AP-tubo (Annealing & Picking), kiu ne estas speciale traktita kaj estas ĝenerale uzita por duoblaj aroj de eksteraj pipoj kiuj ne estas utiligitaj kiel gasprovizlinioj.
04 Duktokonstruo
La prilaborado de la tubbuŝo estas unu el la ŝlosilaj punktoj de ĉi tiu konstruteknologio. La dukto-tranĉado kaj prefabrikado estas efektivigitaj en pura medio, kaj samtempe oni certigas, ke ne estas malutilaj markoj aŭ damaĝoj sur la surfaco de la dukto antaŭ tranĉado. Preparoj por nitrogenofluigo en la dukto devas esti faritaj antaŭ malfermi la dukton. Principe, veldado estas uzata por konekti la altpurajn kaj altpurajn gasajn dissendajn kaj distribuajn duktojn kun granda fluo, sed rekta veldado ne estas permesita. Envolvaĵaj juntoj devas esti uzataj, kaj la tubmaterialo uzata devas havi neniun ŝanĝon en strukturo dum veldado. Se la materialo kun tro alta karbonenhavo estas veldita, la aerpermeablo de la velda parto kaŭzos, ke la gaso ene kaj ekster la tubo penetros unu la alian, detruante la purecon, sekecon kaj purecon de la transporta gaso, kio kondukos al gravaj sekvoj. kaj influas la produktadkvaliton.
Resume, por altpura gaso kaj specialaj gasaj transsendoduktoj, speciale traktita altpura neoksidebla ŝtalo tubo devas esti uzata, kiu igas la altpuran duktosistemon (inkluzive de duktoj, tubaj armaĵoj, valvoj, VMB, VMP) okupi. esenca misio en altpura gasdistribuo.
Afiŝtempo: Nov-26-2024